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FA SPC引入了SPC Job概念，所有的監控都基于SPC Job，每個SPC Job包含了數據篩選、規格限設置、SPC Rule設置以及超差動作定義。

SPC Job支持按Wafer或Lot或Batch的多層次的SPC Inline監控。

每一個SPC Job都支持一個或多個控制圖，且每個控制圖都可使用一個或多個SPC Rules進行監控。

該功能用于設定“非產品數據”的采集計劃（或叫做Offline SPC），包括設備相關的數據和環境數據。

支持自定義NonRT采集層級關系；支持自定義屬性。

支持定義數據采集的類型：計數型、計量型；支持定義數據的樣本編號與子組數。

FA SPC中不拘泥于Western Electric Rules和Nelson Rules，系統中的Rule都可以由用戶自定義。

定義時可以指定Rule的ID，Name等，并且一條Rule可以包含一個或多個子Rule，從而更加靈活。

RT是Real Time的縮寫。

RT Service是FA SPC提供的一個Web Service接口，是MES或其它系統數據進入FA SPC的入口。

RT Service不僅接受數據，并根據預先SPC Job的設定對數據進行檢查，比如OOS/OOC檢查，并將處理結果和要求的動作返回給MES等系統，返回的動作包括Hold Lot/Hold Equipment等。

按照NonRT Setup的設定，操作員利用NonRT DataCollection收集Offline數據。

系統支持多種數據數據采集方式：手工錄入、文件導入、通過RS232或TCP/IP接口從設備獲取數據等。

SPC控制圖分析通過圖形方式展示已經采集到的SPC數據。

FA SPC提供了豐富的查詢和篩選條件，以方便提取符合條件數據進行展示。

通過不同的顏色和形狀來表示不同狀態的ChartPoint：正常點(Normal)、異常點(Alarm)、已處理過的異常點(Fixed)、違反Rule但并不要求產生Alarm、此點上加有Comment等。

在Chart和ChartPoint上可進行20余種操作。

系統提供自動重算功能，可以根據用戶預先設定自動計算控制上下限，并可以同簽核系統進行集成。

SPC提供豐富的報表分析，包括Job設定查詢，違規點查詢，CPK查詢等。